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、开发高精度的测试系统在目前的**精密加工领域中，尼康精密仪器，对加工 精度的测量主要有两种方法;激光检测和光栅检测，而光栅的应用较为广泛。目前光栅的测量精度可达nm级，精密仪器生产商，如北京光电仪研究中心的光栅系统可达0.1μm，俄罗斯的全息光栅系统达10nm，LG100光栅系统的分辨率可达0.1μm，测量范围为100mm。 开发系统误差小、精度高和可靠性高的检测仪器和控制装置的前提是开发高性能的传感器以及伺服从动机构。如果开发出高性能的传感器以及伺服机构及高精度、高速度、和高可靠性的读出装置，精密仪器，就可通过使用计算机进行检测、分析及计算，以提高检测精度。

测量特点

1先进的补偿算法，对Z轴精度进行补偿2、可评定锥形柱体的轮廓度（小锥体）3、气浮运动轴系，精度保持长久4、Z轴光栅计数5、关键件采用特殊去应力合金材料及特殊的去应力处理工艺，精密仪器进口，精度保持长久6、业内良好的高精度采集控制系统，控制系统所有电路按标准设计、生产及验收，能在-70。C ～+70。C的温度区间内稳定工作

手摇影像测量仪在寻找目标点完成测量移位的过程中，由于依靠手动力的操作，移动平台的主副导轨间会产生一定的偏移，不断的来回运动还会产生回程间隙。在微米级测量时，将直接生产影响测量精度。数字化影像测量仪具有运动锁定能力和在设计上采用了无回程间隙技术，从而彻底消除了这些误差，提高了运动的平稳性和测量精度。测量距离越长误差也就越大，测量精度随着长度而降低。手摇式影像测量仪不具备非线性实时纠正功能，无法消除诸如温度、震动等环境因素引起的非线性误差。数字化影像测量仪拥有十分优秀的误差修正能力，通过建立在严格数学模型的软件计算和实时控制来修正，从而使非线性误差降到小，提高了测量精度，突破了速度与精度的技术瓶颈。